راکتور EPI Halfmoon Sic

راکتور EPI Halfmoon Sicدستگاهی است که به طور خاص برای تولید با کیفیت بالا طراحی شده استکاربید سیلیکون (sic) epitaxialلایه ها ، که در آن فرآیند اپیتاکسیال در محفظه واکنش نیمه ماه LPE رخ می دهد ، جایی که بستر در معرض شرایط شدید مانند دمای بالا و گازهای خورنده قرار دارد. برای اطمینان از عمر خدمات و عملکرد اجزای محفظه واکنش ، رسوب بخار شیمیایی (CVD)روکشمعمولاً استفاده می شود 

راکتور EPI Halfmoon Sicاجزای:

محفظه واکنش اصلی: محفظه اصلی واکنش از مواد مقاوم در برابر درجه حرارت بالا مانند کاربید سیلیکون (SIC) وگرافیت، که مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی بسیار بالا و مقاومت در برابر دمای بالا دارند. دمای کار معمولاً بین 1400 درجه سانتیگراد و 1600 درجه سانتیگراد است که می تواند از رشد کریستال های کاربید سیلیکون در شرایط درجه حرارت بالا پشتیبانی کند. فشار عملیاتی محفظه واکنش اصلی بین 10 است^-3و 10^-1MBAR ، و یکنواختی رشد اپیتاکسیال را می توان با تنظیم فشار کنترل کرد.

اجزای گرمایشی: بخاری گرافیت یا سیلیکون کاربید (SIC) به طور کلی مورد استفاده قرار می گیرد که می تواند در شرایط دمای بالا یک منبع گرمای پایدار فراهم کند.

عملکرد اصلی راکتور LPE Halfmoon SIC EPI ، رشد اپیتاکس فیلم های کاربید سیلیکون با کیفیت بالا است. به طور خاص ،در جنبه های زیر آشکار می شود:

رشد لایه اپیتاکسیال: از طریق فرآیند Epitaxy فاز مایع ، می توان لایه های اپیتاکسیال با کمبود کمتری را بر روی بسترهای SIC رشد داد و سرعت رشد آن در حدود 1-10μm/h ، که می تواند از کیفیت کریستالی بسیار بالایی برخوردار باشد. در همین زمان ، سرعت جریان گاز در محفظه واکنش اصلی معمولاً در 10-100 SCCM (سانتی متر مکعب استاندارد در دقیقه) کنترل می شود تا از یکنواختی لایه اپیتاکسیال اطمینان حاصل شود.

پایداری درجه حرارت بالا: لایه های اپیتاکسیال SIC هنوز هم می توانند در محیط های درجه حرارت بالا ، فشار بالا و فرکانس بالا عملکرد عالی را حفظ کنند.

چگالی نقص را کاهش دهید: طراحی ساختاری منحصر به فرد از راکتور EPI Halfmoon SIC LPE می تواند به طور موثری تولید نقص کریستالی را در طی فرآیند Epitaxy کاهش دهد و از این طریق عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه را بهبود بخشد.

نیمه هادی Vetek متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. در عین حال ، ما از خدمات محصول سفارشی پشتیبانی می کنیم.ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

داده های SEM ساختار کریستالی فیلم CVD SIC:

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC：

Vetek نیمه هادی LPE Halfmoon Sic Shoptor: