حلقه تمرکز برای اچ کردن

حلقه های اچینگ سیلیکون مونوکریستالی با حفظ پایداری محیط پلاسما ، محافظت از تجهیزات و ویفرها ، بهینه سازی استفاده از منابع و تطبیق با الزامات پیشرفته فرآیند ، مؤلفه های اساسی در فرآیندهای اچینگ نیمه هادی هستند. عملکرد آن به طور مستقیم بر عملکرد و هزینه تولید تراشه تأثیر می گذارد.

حلقه فوکوس Etched ، الکترود و غیره (کنترل کننده دمای لبه) مواد مصرفی اصلی برای اطمینان از یکنواختی پلاسما ، کنترل دما و تکرارپذیری فرآیند هستند. این مؤلفه ها دقیقاً در محفظه خلاء CVD ، تجهیزات اچینگ و فیلم مونتاژ می شوند و به طور مستقیم دقت و عملکرد اچ را از لبه به مرکز ویفر تعیین می کنند.

در پاسخ به تقاضای سختگیرانه برای خواص مواد در فرآیندهای تولید سطح بالا ، Veteksemi با استفاده از سیلیکون مونوکریستالی با خلوص بالا با مقاومت 10-20Ω · سانتی متر برای تولید حلقه های متمرکز و حمایت از مواد مصرفی نوآوری می کند. از طریق بهینه سازی مشترک علوم مواد ، طراحی الکتریکی و ترمودینامیک ، Veteksemi قادر به تولید حلقه های متمرکز و پشتیبانی از مواد مصرفی است. به طور جامع از راه حل های سنتی کوارتز برای دستیابی به پیشرفت های پیشرفت در طول عمر ، دقت و اثربخشی هزینه فراتر می رود.

مقایسه مواد اصلی و بهینه سازی مقاومت

Silicon Monocrystaline Vs. کوارتز

محصول اصلی محصولe

1. دقت فرآیند سطح اتمی

بهینه سازی مقاومت + پولیش فوق العاده با دقت (RA <0.1μm) آلودگی میکرو تخلیه و ذرات را برای رعایت استانداردهای نیمه F47 از بین می برد.

از دست دادن دی الکتریک (TANδ <0.001) بسیار با محیط دی الکتریک ویفر مطابقت دارد و از تحریف میدان الکتریکی لبه و حمایت از 3D NAND 89.5 درجه ± 0.3 درجه عمودی سوراخ عمودی جلوگیری می کند.

ترتیب سازگاری سیستم هوشمند

یکپارچه با ماژول کنترل دمای ETC ، جریان هوای خنک کننده به صورت پویا توسط الگوریتم ترموکوپل و AI تنظیم می شود تا بتواند رانش حرارتی محفظه را جبران کند.

پشتیبانی از شبکه تطبیق RF سفارشی ، مناسب برای ماشین های اصلی مانند Amat Centura ، Lam Research KIYO و ICP/CCP پلاسما.

3. جامع مقرون به صرفه

عمر سیلیکون مونوکریستالی 275 ٪ بیشتر از کوارتز است ، چرخه نگهداری بیش از 3000 ساعت است و هزینه جامع مالکیت (TCO) 30 ٪ کاهش می یابد.

سرویس سفارشی سازی شیب مقاومت (5-100Ω · سانتی متر) ، دقیقاً مطابق با پنجره فرآیند مشتری (مانند GAN/SIC GAP GAP Material Etching).

تأثیر مقاومت

شرایط تجاری محصول

حداقل مقدار سفارش	1 ست
قیمت	برای نقل قول سفارشی تماس بگیرید
جزئیات بسته بندی	بسته صادراتی استاندارد
زمان تحویل	زمان تحویل: 30-35 روز پس از تأیید سفارش
شرایط پرداخت	t/t
توانایی عرضه	600 مجموعه در ماه