اجزای سقفی Aixstron G5+

گالیم نیترید (GAN) یک ماده نیمه هادی باند گسترده با خصوصیات فیزیکی عالی مانند تحرک الکترونی بالا ، میدان الکتریکی با شکست زیاد و سرعت الکترونی اشباع بالا است. این دستگاه به طور گسترده ای در دستگاه های نوری (مانند دیودهای دارای تابش نور ، دیودهای لیزر) و دستگاههای الکترونیکی با قدرت بالا (مانند تقویت کننده های قدرت) استفاده می شود. سیلیکون (SI) یک ماده بستر نیمه هادی معمولاً با مزایای کم هزینه ، اندازه بزرگ و سازگاری با فرآیندهای مدار یکپارچه مبتنی بر سیلیکون موجود است. بنابراین ، رشد لایه های اپیتاکسیال GAN در SI یک موضوع تحقیق بسیار ارزشمند است. سری Aixstron G5+ یکی از داغترین تجهیزات رشد GAN اپیتاکسیال مبتنی بر SI در حال حاضر است که دارای اجزای مهم بسیاری است و مؤلفه سقف یکی از مؤلفه های مهم است.

مؤلفه سقفی Aixstron G5+ از SGL Graphite ساخته شده است. عملکرد اصلی کنترل دما و اطمینان از کمترین جریان گرما از طریق ویفر است.

 ●کنترل یکنواختی دما: 

مؤلفه سقفی Aixstron G5+ به دستیابی به توزیع دمای یکنواخت در کل محفظه واکنش کمک می کند. در فرآیند رشد اپیتاکسیال نیمه هادی ، یکنواختی دما برای رشد لایه های اپیتاکسیال با کیفیت بالا بسیار مهم است. تضمین می کند که دمای سطح یکسانی را می توان در تمام ویفرها یا اجزای ماهواره ای بدست آورد ، در نتیجه قوام سرعت رشد و کیفیت مواد اپیتاکسیال در همه مکان ها را تضمین می کند و از این طریق عملکرد فرایند را بهبود می بخشد.

 ● محیط رشد را بهینه کنید: 

به عنوان بخشی از محفظه واکنش ، مؤلفه سقفی Aixstron G5+ یک محیط رشد پایدار را به همراه سایر اجزای تشکیل می دهد. این امر می تواند از دست دادن گرما کاهش یابد و دما را در محفظه واکنش پایدارتر کند ، که برای کنترل دقیق شرایط برای رشد اپیتاکسیال و کاهش نقص لایه های اپیتاکسیال و عملکرد غیر یکنواختی ناشی از نوسانات دما مساعد است.

مؤلفه سقفی Aixstron G5+ یکی از محصولات اصلی این صنعت است که توسط نیمه هادی Vetek راه اندازی شده است. انتخاب نیمه هادی Vetek به معنای همکاری با شرکتی است که متعهد به فشار مرزهای نوآوری پوشش کاربید سیلیکون است. با تأکید شدید بر کیفیت ، عملکرد و رضایت مشتری ، ما محصولاتی را ارائه می دهیم که نه تنها برآورده می شوند بلکه از خواسته های دقیق صنعت نیمه هادی فراتر می روند. به ما کمک می کنیم تا با راه حل های مؤلفه سقفی پیشرفته Aixstron G5+ ما ، به کارآیی ، قابلیت اطمینان و موفقیت در عملیات خود دست یابید.

داده های مواد SGL 6510 Graphite:

آن نیمه هادی استفروشگاه های محصولات قطعات Aixstron G5+ سقف