حلقه بالایی اپیتاکسی با روکش CVD کاربید سیلیکون (SiC) 8 اینچی

ویژگی های کلیدی حلقه SiC Epi Top 8 اینچی

● خلوص بالا: حداقل 99.9995٪. فلز به لایه epi مهاجرت نمی کند. این غلظت حامل ویفر را در جایی که باید باشد حفظ می کند.

● سرکوب ذرات: ساختار CVD متراکم است. بدون منافذ در حین کار کردن ابزار، ذرات را نمی ریزد. کارخانه ها از این طریق بازده بهتری را می بینند.

● مقاومت در برابر حرارت: حلقه در دمای 1500 درجه سانتی گراد ثابت می ماند. CTE پایین (انبساط حرارتی) به معنای عدم تاب خوردن در طول چرخه‌های گرم کردن/سرد کردن سریع است.

● پایداری شیمیایی: CVD SiC جامد در برابر گازهای H2 و HCl مقاومت می کند. همچنین در برابر NH3 مقاومت می کند. هیچ پوششی برای جدا کردن ندارد. در محیط های سخت CVD تخریب نمی شود.

● عمر اجزاء: سطح بسیار سخت است. از تمیز کردن مکرر شیمیایی HF/HCl جان سالم به در می برد. این باعث کاهش فرکانس تعویض می شود. همچنین هزینه کل مالکیت فاب را کاهش می دهد.

مشخصات فنی

یکنواختی ضخامت پوشش بین دسته ها در 10um کنترل می شود

برنامه های کاربردی

حلقه CVD SiC epi top به طور گسترده ای در موارد زیر استفاده می شود:

● راکتورهای اپیتاکسی سیلیکونی (Si Epi).

● اپیتاکسی کاربید سیلیکون (SiC Epi)

● سیستم های MOCVD

● تجهیزات رسوب CVD

معمولاً با:

● گیرنده ها

● حامل ویفر

● حلقه ها را از قبل گرم کنید

● راکتورهای اپیتاکسی

چرا حلقه بالایی VETEK SiC Epi را شلنگ بزنید؟

● قابلیت کامل ساخت: 

از خالص سازی مواد خام گرفته تا ماشینکاری دقیق و پوشش CVD، VETEK کل فرآیند تولید را کنترل می کند تا کیفیت نیمه هادی ثابتی را تضمین کند.

● دقت بالا: 

ما از ماشینکاری در سطح میکرون استفاده می کنیم. ضخامت CVD بسیار یکنواخت است. این باعث می شود هر حلقه دقیقاً به همان روش عمل کند.

سوالات متداول

(1) حلقه بالای SiC epi چه می کند؟

رینگ جریان گرما و گاز را مدیریت می کند. این اطمینان حاصل می کند که لایه نازک به طور یکنواخت در سراسر ویفر رشد می کند.

(2) چرا CVD SiC بهتر از گرافیت است؟

گرافیت متخلخل است. گرافیت دارای منافذ است و گاز آزاد می کند. CVD SiC جامد متراکم و تمیز است. در ابزارهای خورنده بسیار بیشتر دوام می آورد.

(3) آیا می توان حلقه بالایی SiC 8 اینچی را سفارشی کرد؟

بله. ما نقشه های ابزار خاص شما را می سازیم. ما می توانیم هندسه را بر اساس فرآیند شما تنظیم کنیم.

(4) چه صنایعی از حلقه های اپیتاکسی SiC استفاده می کنند؟

آنها عمدتاً در تولید نیمه هادی ها، از جمله دستگاه های برق، دستگاه های RF و تولید ویفر SiC استفاده می شوند.