سینی حامل ویفر

شما می توانید مطمئن باشید که سینی حامل ویفر را از کارخانه ما خریداری می کنید.

نیمه هادی Vetek عمدتاً قطعات گرافیتی با پوشش CVD SiC مانند سینی حامل ویفر را برای تجهیزات نیمه هادی SiC-CVD نسل سوم فراهم می کند و به ارائه تجهیزات تولید پیشرفته و رقابتی برای صنعت اختصاص دارد. تجهیزات SiC-CVD برای رشد لایه همگن لایه نازک تک کریستالی بر روی بستر کاربید سیلیکون استفاده می شود، ورق همپایی SiC عمدتا برای تولید دستگاه های قدرت مانند دیود شاتکی، IGBT، MOSFET و سایر دستگاه های الکترونیکی استفاده می شود.

تجهیزات از نزدیک فرآیند و تجهیزات را با هم ترکیب می کنند. تجهیزات SIC-CVD دارای مزایای آشکار در ظرفیت تولید بالا ، سازگاری 6/8 اینچ ، هزینه رقابتی ، کنترل مداوم رشد خودکار برای کوره های متعدد ، سرعت کم ، راحتی نگهداری و قابلیت اطمینان از طریق طراحی کنترل میدان دما و کنترل میدان جریان است. همراه با سینی حامل ویفر پوشیده شده توسط SIC که توسط نیمه هادی Vetek ما ارائه شده است ، می تواند راندمان تولید تجهیزات را بهبود بخشد ، عمر را گسترش داده و هزینه را کنترل کند.

سینی حامل ویفر نیمه هادی Vetek به طور عمده دارای خلوص بالا ، پایداری گرافیتی خوب ، دقت پردازش بالا ، به علاوه پوشش CVD SIC ، پایداری دمای بالا: پوشش های سیلیکون-کربید دارای پایداری عالی درجه حرارت بالا و محافظت از بستر از گرما و خوردگی شیمیایی در محیط های درجه حرارت بسیار بالا بشر

سختی و مقاومت در برابر سایش: پوشش‌های سیلیکون کاربید معمولاً دارای سختی بالایی هستند، مقاومت در برابر سایش عالی را ارائه می‌دهند و عمر مفید زیرلایه را افزایش می‌دهند.

مقاومت در برابر خوردگی: روکش کاربید سیلیکون در برابر بسیاری از مواد شیمیایی مقاوم در برابر خوردگی است و می تواند بستر را از آسیب خوردگی محافظت کند.

کاهش ضریب اصطکاک: پوشش‌های سیلیکون کاربید معمولاً ضریب اصطکاک پایینی دارند که می‌تواند تلفات اصطکاک را کاهش داده و راندمان کاری قطعات را بهبود بخشد.

هدایت حرارتی: پوشش کاربید سیلیکون معمولاً دارای رسانایی حرارتی خوبی است که می تواند به بستر کمک کند گرما را بهتر پخش کند و اثر اتلاف حرارت اجزا را بهبود بخشد.

به طور کلی ، پوشش کاربید سیلیکون CVD می تواند محافظت چندگانه برای بستر ، افزایش عمر خدمات خود و بهبود عملکرد آن داشته باشد.

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC:

مغازه های تولیدی:

مروری بر زنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه های نیمه هادی: