مرکز جمع آوری پوشش SIC

مرکز جمع آوری پوشش SIC نیمه هادی Vetek نقش مهمی در تولید فرآیند EPI نیمه هادی ایفا می کند. این یکی از مؤلفه های کلیدی است که برای توزیع و کنترل گاز در یک محفظه واکنش اپیتاکسیال استفاده می شودروکشوتپوشش TACدر کارخانه ما

نقش مرکز جمع آوری پوشش SIC به شرح زیر است:

● توزیع گاز: از مرکز جمع آوری پوشش SIC برای معرفی گازهای مختلف به محفظه واکنش اپیتاکسیال استفاده می شود. این دستگاه دارای چندین ورودی و رسانه است که می توانند گازهای مختلف را به مکان های مورد نظر توزیع کنند تا نیازهای خاص رشد اپیتاکسیال را برآورده کنند.

● کنترل گاز: مرکز جمع آوری پوشش SIC به کنترل دقیق هر گاز از طریق دریچه ها و دستگاه های کنترل جریان دست می یابد. این کنترل دقیق گاز برای موفقیت در فرآیند رشد اپیتاکسیال برای دستیابی به غلظت گاز مورد نظر و سرعت جریان و اطمینان از کیفیت و قوام فیلم ضروری است.

● یکنواختی: طراحی و چیدمان حلقه جمع آوری گاز مرکزی به دستیابی به توزیع یکنواخت گاز کمک می کند. از طریق مسیر جریان گاز معقول و حالت توزیع ، گاز به طور مساوی در محفظه واکنش اپیتاکسیال مخلوط می شود ، تا به رشد یکنواخت فیلم برسد.

در ساخت محصولات اپیتاکسیال ، مرکز جمع آوری پوشش SIC نقش مهمی در کیفیت ، ضخامت و یکنواختی فیلم دارد. از طریق توزیع و کنترل مناسب گاز ، مرکز جمع آوری پوشش SIC می تواند از ثبات و قوام آن اطمینان حاصل کندروند رشد اپیتاکسیال، به منظور به دست آوردن فیلم های با کیفیت بالا.

در مقایسه با مرکز جمع کننده گرافیت ، مرکز جمع آوری پوشش داده شده SIC باعث بهبود هدایت حرارتی ، افزایش بی تحرک شیمیایی و مقاومت در برابر خوردگی برتر می شود. پوشش کاربید سیلیکون به طور قابل توجهی توانایی مدیریت حرارتی مواد گرافیتی را افزایش می دهد و منجر به یکنواختی دما بهتر و رشد سازگار فیلم در فرآیندهای اپیتاکسیال می شود. علاوه بر این ، این پوشش یک لایه محافظ را فراهم می کند که در برابر خوردگی شیمیایی مقاومت می کند و طول عمر اجزای گرافیت را گسترش می دهد. در کل ،روکش شده با کاربید سیلیکونمواد گرافیتی هدایت حرارتی برتر ، عدم تحرک شیمیایی و مقاومت در برابر خوردگی را ارائه می دهند و از افزایش پایداری و رشد فیلم با کیفیت بالا در فرآیندهای اپیتاکسیال اطمینان می دهند.

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC:

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC

آن نیمه هادی استمرکز جمع آوری پوشش SICفروشگاه تولیدی