حامل ویفر پوشش داده شده

تولید تراشه از ویفر جدایی ناپذیر است. در فرآیند تهیه ویفر، دو پیوند اصلی وجود دارد: یکی آماده سازی بستر، و دیگری اجرای فرآیند همپایی. بستر را می توان مستقیماً در فرآیند تولید ویفر برای تولید دستگاه های نیمه هادی قرار داد یا از طریقروند کاربشر 

Epitaxy برای رشد یک لایه جدید از کریستال تک بر روی یک بستر کریستالی منفرد است که کاملاً فرآوری شده است (برش ، سنگ زنی ، جلا دادن و غیره). از آنجا که لایه کریستالی تک رشد یافته با توجه به فاز کریستال بستر گسترش می یابد ، به آن یک لایه اپیتاکسیال گفته می شود. هنگامی که لایه اپیتاکسیال روی بستر رشد می کند ، کل ویفر اپیتاکسیال نامیده می شود. معرفی فناوری epitaxial به طور هوشمندانه بسیاری از نقایص بسترهای منفرد را حل می کند.

در کوره رشد اپیتاکسیال ، بستر نمی تواند به طور تصادفی قرار گیرد و الفحامل ویفرقبل از انجام رسوب اپیتاکسیال روی بستر ، برای قرار دادن بستر روی نگهدارنده ویفر لازم است. این نگهدارنده ویفر حامل ویفر با روکش SIC است.

نمای مقطعی از راکتور EPI

با کیفیت بالاپوشش SiCبا استفاده از فناوری CVD روی سطح گرافیت SGL اعمال می شود:

با کمک پوشش SIC ، بسیاری از خواصدارنده ویفر روکش شدهبه طور قابل توجهی بهبود یافته اند:

properties خصوصیات آنتی اکسیدانی: پوشش SiC مقاومت اکسیداسیون خوبی دارد و می تواند ماتریس گرافیت را از اکسیداسیون در دماهای بالا محافظت کند و عمر مفید آن را افزایش دهد.

● مقاومت در برابر دمای بالا: نقطه ذوب پوشش SiC بسیار بالا است (حدود 2700 درجه سانتیگراد). پس از افزودن پوشش SiC به ماتریس گرافیت، می‌تواند دماهای بالاتری را تحمل کند که برای کاربرد در محیط کوره رشد همپایه مفید است.

reg مقاومت در برابر خوردگی: گرافیت مستعد ابتلا به خوردگی شیمیایی در برخی از محیط های اسیدی یا قلیایی است ، در حالی که پوشش SIC مقاومت خوبی در برابر خوردگی اسید و قلیایی دارد ، بنابراین می توان برای مدت طولانی در کوره های رشد اپیتاکسی استفاده کرد.

● مقاومت بپوشید: مواد SIC سختی بالایی دارد. پس از پوشش گرافیت با SIC ، هنگام استفاده در یک کوره رشد اپیتاکسیال ، به راحتی آسیب نمی بیند و میزان سایش مواد را کاهش می دهد.

نیمه هادی VeTek از بهترین مواد و پیشرفته ترین فناوری پردازش استفاده می کند تا محصولات حامل ویفر با پوشش SiC پیشرو در صنعت را به مشتریان ارائه دهد. تیم فنی قوی VeTek Semiconductor همیشه متعهد به ایجاد مناسب ترین محصولات و بهترین راه حل های سیستمی برای مشتریان است.

داده های SEM فیلم CVD SIC

نیمه هادی VeTekمغازه های حامل ویفر با روکش SIC