اخبار

یک گیرنده گرافیتی با پوشش SiC برای ASM فقط یک قطعه جایگزین در داخل یک سیستم اپیتاکسی نیست. این یک حامل حیاتی فرآیند است که بر یکنواختی حرارتی، تمیزی ویفر، دوام پوشش، پایداری محفظه و هزینه تولید طولانی مدت تأثیر می گذارد.

پوشش پوشش CVD TaC فقط یک درب محافظ یا جزء گرافیت پوشش داده شده نیست. در فرآیندهای نیمه هادی با دمای بالا، می تواند بر تمیزی محفظه، پایداری حرارتی، طول عمر قطعه و ثبات فرآیند تأثیر بگذارد.

در تولید PECVD، بسیاری از مشکلات پوشش و رسوب با قدرت پلاسما یا شیمی گاز شروع نمی شود. آنها با حاملی که ویفرها را نگه می دارد شروع می کنند.