Wafer Epitaxial MOCVD ارائه می دهد

MOCVD ویفر ویفر ویفر یک معضل ویفر اپیتاکسیال با کارایی بالا است که برای تجهیزات MOCVD (رسوب بخار شیمیایی فلزی و آلی) طراحی شده است. حساس کننده از مواد گرافیتی SGL ساخته شده و با پوشش کاربید سیلیکون پوشیده شده است ، که ترکیب حرارتی بالای گرافیت را با مقاومت عالی درجه حرارت بالا و خوردگی SIC ترکیب می کند و برای محیط کار سخت دمای بالا ، فشار بالا و گاز خورنده در طول رشد اپیتاکسی نیمه هادی ها مناسب است.

مواد گرافیتی SGL دارای هدایت حرارتی عالی است ، که تضمین می کند دمای ویفر اپی کلیسا به طور مساوی در طی فرآیند رشد توزیع می شود و کیفیت لایه اپی کلیسا را ​​بهبود می بخشد. روکش SIC روکش شده باعث می شود که مستعد کننده در برابر دمای زیاد بیش از 1600 stant مقاومت کند و در فرآیند MOCVD با محیط حرارتی شدید سازگار شود. علاوه بر این ، پوشش SIC می تواند به طور موثری در برابر گازهای واکنش درجه حرارت بالا و خوردگی شیمیایی مقاومت کند ، عمر خدمات حساس را افزایش داده و آلودگی را کاهش دهد.

Socvd Vefer Wafer Veteksemi می تواند به عنوان جایگزینی برای لوازم جانبی تأمین کنندگان تجهیزات MOCVD مانند Aixstron استفاده شود.

● اندازه: می توان با توجه به نیاز مشتری (اندازه استاندارد موجود) سفارشی سازی کرد.

● ظرفیت حمل: می تواند چندین یا حتی بیش از 50 ویفر اپیتاکسیال را به طور همزمان حمل کند (بسته به اندازه حساس).

● درمان سطح: پوشش SIC ، مقاومت در برابر خوردگی ، مقاومت به اکسیداسیون.

redustress صنعت نیمه هادی: برای رشد ویفرهای اپیتاکسیال مانند LED ، دیودهای لیزر و نیمه هادی های قدرت استفاده می شود.

redustress صنعت نوری: از رشد اپیتاکسی دستگاههای با کیفیت بالا نوری.

regist تحقیق و توسعه مواد با کیفیت بالا: برای آماده سازی اپیتاکسیال نیمه هادی های جدید و مواد نوری استفاده شده است.

بسته به نوع تجهیزات و نیازهای تولید MOCVD مشتری ، نیمه هادی Vetek خدمات سفارشی از جمله اندازه حساس ، مواد ، سطح درمان و غیره را ارائه می دهد تا اطمینان حاصل شود که مناسب ترین راه حل برای مشتریان ارائه شده است.

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC

آن نیمه هادی است مغازه های مستعار ویفر Epitaxial MOCVD