گیرنده پوشش داده شده با کاربید تانتالم (TaC) CVD

ویژگی های کلیدی

برنامه های کاربردی

کاربردهای معمولی عبارتند از:

• رشد اپیتاکسیال SiC

• GaN MOCVD Epitaxy

• رشد اپیتاکسیال AlN

• تولید نیمه هادی نسل سوم

• الکترونیک پرقدرت

• دستگاه های RF

• تولید میکرو ال ای دی

• تحقیقات و سیستم های تولید آزمایشی

تجهیزات سازگار

پلتفرم های سازگار عبارتند از:

• اکسترون

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• راکتورهای CVD و MOCVD سفارشی

همچنین موجود است:

• حامل ویفر

• گیرنده های سیاره ای

• گیرنده های بشکه ای

• چرخش دیسک ها

• قطعات نیمه ماه

• صفحات پوششی

• مجموعه های گرافیت

• اجزای میدان حرارتی سفارشی

مشخصات فنی

سوالات متداول

1. گیرنده CVD TaC Coated چیست؟

یک جزء گرافیت با خلوص بالا که توسط یک پوشش متراکم CVD TaC محافظت می شود که به عنوان حامل ویفر در طول رشد اپیتاکسیال استفاده می شود.

2. چرا از TaC coa استفاده کنید؟ting به جای پوشش SiC؟

TaC مقاومت در برابر دمای بالاتر، پایداری شیمیایی برتر و عمر طولانی‌تر را ارائه می‌دهد.

3.کدام فرآیندهای نیمه هادی از TaC-c استفاده می کنندگیرنده های جو دوسر؟

اپیتاکسی SiC، GaN MOCVD، اپیتاکسی AlN و سایر فرآیندهای رشد کریستال در دمای بالا.

4. آیا VETEK می تواند susceptors سفارشی تولید کند؟

بله. ما طرح های سفارشی را بر اساس نقشه های مشتری و نیازهای فرآیند ارائه می دهیم.

5. کدام مارک های راکتور پشتیبانی می شوند؟

Aixtron، LPE، Veeco، AMEC، NuFlare، و دیگر سیستم های جریان اصلی.