حلقه های فوکوس SiC جامد

1. ویژگی های محصول

● خلوص (GDMS تایید شده): > 99.99995٪ (تا 6N-7N) | محفظه را از خطرات فلزی دور نگه می دارد.

● استحکام ساختاری: ≥3.21  g/cm3 | به چگالی نظری می رسد. هیچ فضای خالی برای خروج گاز یا میکرو ذرات برای پنهان شدن باقی نمی گذارد.

● تنظیم حرارتی: 200 - 300W/m·K | گرما را به سرعت پخش می کند تا دمای لبه ویفر را کاملاً یکنواخت نگه دارد.

● برد الکتریکی: 0.01 - 10 Ωcm | مقاومت قابل تطبیق برای ثابت نگه داشتن غلاف پلاسما و اصلاح اتصال RF. صلبیت سطح: ≥2500 HV | در طول چرخه های خشک کردن مداوم در برابر سایش مقاوم است.

2. برنامه های کاربردی 

● فرآیند پیشرفته اچ پلاسما

● فرآیندهای رسوب لایه نازک (PECVD/ALD)

● حلقه های اچینگ SiC جامد، مواد مصرفی کلیدی در ساخت تراشه های پیشرفته هستند که برای اطمینان از یکنواختی فرآیندهای لبه ویفر، بهبود عملکرد و افزایش عمر اجزا در فرآیندهای اچ پلاسما و رسوب استفاده می شوند.

3. رفع آسیب پذیری های Fab

● مسئله: زمان بیکاری پرهزینه از فرسایش قطعه سریع

راه‌حل: ساختار رشد CVD Vetek سرعت فرسایش را ۱۰ تا ۲۰ برابر کندتر از کوارتز و ۳ تا ۵ برابر کندتر از سیلیکون حجیم نشان می‌دهد. فابریک ها دوره های تولید طولانی تری دارند و دریچه های اتاق اضطراری بسیار کمتری دارند.

● مشکل: سقوط بازده لبه ("اثر لبه")

راه حل: سایش آهسته و قابل پیش بینی در سرتاسر حلقه حلقه از کج شدن غلاف پلاسما در طول زمان جلوگیری می کند. این محدودیت‌های اندازه بحرانی (CD) را درست در محیط ویفر حفظ می‌کند.

● مسئله: سنبله های نقص از ریختن قطعات متخلخل

راه حل: سنتز فاز گاز ما بایندرهای مرز دانه یا پرکننده های فلزی را پشت سر نمی گذارد. بدون این نقاط ضعیف، حلقه پوسته پوسته نمی شود و باعث ایجاد نقص های میکرو ماسک روی سطح ویفر نمی شود.

4. پشتیبانی مهندسی مناسب

● ابزار Drop-In ادغام: ماشینکاری سفارشی برای مطابقت با مشخصات فاصله گذاری دقیق مارک های جهانی حکاکی مانند Lam، AMAT، و TEL.

● تطبیق مقاومت: مشخصات الکتریکی هر دسته را تنظیم می کنیم تا کاملاً با پارامترهای دستور پخت خاص شما مطابقت داشته باشد.

● پایان های پیشرفته: از صافی مکانیکی شیمیایی (CMP) بسیار تمیز برای صاف کردن سطوح ناهموار استفاده می کند و تعداد ذرات را در طول چاشنی اولیه ابزار کاهش می دهد.

● عوامل شکل پیچیده: ما تلورانس‌های محکم (0.01 میلی‌متر) روی حلقه‌های لبه‌ای چند پله‌ای و حلقه‌های درهم قفل شده داریم.

انبار نیمه هادی وتک: