SIC SIC DEEP UV LED SESIPITOR

SIC SIC DEEP UV LED SESINCESOR مؤلفه تحمل هسته درتجهیزات MOCVD (رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی)بشر حساس به طور مستقیم بر یکنواختی ، کنترل ضخامت و کیفیت مواد رشد عمق UV LED تأثیر می گذارد ، به ویژه در رشد لایه اپیتاکسیال آلومینیوم (ALN) با محتوای آلومینیومی بالا ، طراحی و عملکرد مستعد بسیار مهم است.

SIC SIC DEEP UV LED SESIPTOR به طور خاص برای اپیتاکس LED Deep UV بهینه شده است و دقیقاً بر اساس ویژگی های زیست محیطی حرارتی ، مکانیکی و شیمیایی برای برآورده کردن نیازهای دقیق فرآیند طراحی شده است.

نیمه هادی Vetek از فناوری پردازش پیشرفته برای اطمینان از توزیع یکنواخت گرمای حساس در محدوده دمای کار استفاده می کند و از رشد غیر یکنواخت لایه اپیتاکسیال ناشی از گرادیان دما جلوگیری می کند. پردازش دقیق زبری سطح را کنترل می کند ، آلودگی ذرات را به حداقل می رساند و باعث افزایش کارایی هدایت حرارتی تماس سطح ویفر می شود.

نیمه هادی Vetek از SGL Graphite به عنوان ماده استفاده می کند و سطح آن با آن درمان می شودپوشش CVD SIC، که می تواند برای مدت طولانی در برابر NH3 ، HCL و جو دمای بالا مقاومت کند. SIC SIC SIC SIC با پوشش عمیق SIC وتک با ضریب انبساط حرارتی وافرهای اپیتاکسیال ALN/GAN مطابقت دارد و باعث کاهش پیچ و مهره ویفر یا ترک خوردگی ناشی از استرس حرارتی در طی این فرآیند می شود.

از همه مهمتر ، SIC SIC SIC SIC با پوشش Deep UV LED کاملاً با تجهیزات اصلی MOCVD سازگار است (از جمله Veeco K465I ، Epik 700 ، Aixstron Crius و غیره). از خدمات سفارشی برای اندازه ویفر (8 ~ 8 اینچ) ، طراحی شکاف ویفر ، دمای فرآیند و سایر الزامات پشتیبانی می کند.

سناریوهای برنامه:

● آماده سازی LED UV عمیق: قابل استفاده در فرآیند اپیتاکسیال دستگاههای موجود در باند زیر 260 نانومتر (ضد عفونی UV-C ، عقیم سازی و سایر زمینه ها).

● نیترید نیمه هادی نیترید: مورد استفاده برای تهیه اپیتاکسیال مواد نیمه هادی مانند نیترید گالیم (GAN) و نیترید آلومینیوم (ALN).

● آزمایش های اپیتاکسی در سطح تحقیق: Epitaxy Deep Epitaxy و آزمایش های جدید توسعه مواد در دانشگاه ها و موسسات تحقیقاتی.

با پشتیبانی یک تیم فنی قوی ، وتک نیمه هادی قادر است با توجه به نیازهای مشتری ، با مشخصات و کارکردهای منحصر به فرد ، حساسیت ها را توسعه دهد ، از فرایندهای خاص تولید پشتیبانی کند و خدمات بلند مدت را ارائه دهد.

داده های SEM فیلم پوشش CVD SIC:

خصوصیات بدنی اساسی پوشش CVD SIC:

آن نیمه هادی استفروشگاه های محصول SoSejector LED Deep UV با روکش SIC: