اخبار

پوشش خلاء شامل تبخیر مواد فیلم ، حمل و نقل خلاء و رشد فیلم نازک است. با توجه به روشهای مختلف تبخیر مواد فیلم و فرآیندهای حمل و نقل ، پوشش خلاء را می توان به دو دسته تقسیم کرد: PVD و CVD.

در این مقاله پارامترهای فیزیکی و ویژگی های محصول گرافیت متخلخل نیمه هادی Vetek و همچنین کاربردهای خاص آن در پردازش نیمه هادی شرح داده شده است.

در این مقاله ویژگی های محصول و سناریوهای کاربردی پوشش کاربید Tantalum و پوشش کاربید سیلیکون از دیدگاه های مختلف مورد بررسی قرار گرفته است.

رسوب فیلم نازک در ساخت تراشه بسیار حیاتی است و با واریز فیلم های زیر 1 میکرون ضخیم از طریق CVD ، ALD یا PVD ، دستگاه های میکرو ایجاد می کند. این فرآیندها از طریق فیلم های رسانا و عایق متناوب ، اجزای نیمه هادی را ایجاد می کنند.