نیمه ماه برای اتاق واکنش LPE

نیمه ماه در محفظه واکنش LPE چیست؟

در بسیاری از راکتورهای افقی LPE، نیمه ماه بخشی از مجموعه محفظه داخلی است. سازندگان تجهیزات مختلف ممکن است از ساختارهای کمی متفاوت استفاده کنند، اما عملکرد به طور کلی مشابه است. این جزء معمولاً به دو بخش بالا و پایین تقسیم می شود:

• نیمه ماه بالایی:قسمت بالایی عمدتا به عنوان یک ساختار پشتیبانی در داخل راکتور عمل می کند. از آنجایی که ماده برای مدت طولانی نزدیک به منطقه فرآیند با دمای بالا می‌ماند، پس از چرخه‌های حرارتی مکرر باید بدون تغییر شکل آشکار ثابت بماند. نکته مهم دیگر پایداری شیمیایی است. در طی اپیتاکسی SiC، محیط محفظه حاوی گازهای واکنشی است، بنابراین سطح گرافیت باید به درستی محافظت شود.
• نیمه ماه پایین:بخش پایینی نزدیک به ناحیه لوله کوارتز و مجموعه دوار متصل می شود. در ورود گاز و حمایت مکانیکی در طول رشد اپیتاکسیال نقش دارد. در مقایسه با قطعات ساختاری گرافیت معمولی، Halfmoon پایینی معمولاً به دلیل گرمایش و سرمایش مداوم در حین کار راکتور با نیازهای بالاتری برای مقاومت در برابر اکسیداسیون و پایداری شوک حرارتی مواجه است.

ویژگی های کلیدی VETEK Halfmoon برای اتاق واکنش LPE

1. زیرلایه گرافیت با خلوص بالا

مواد پایه گرافیت با خلوص بالا مناسب برای محیط های فرآیند نیمه هادی است. خلوص مواد در اپیتاکسی SiC مهم است زیرا آلودگی فلزی ممکن است بر ثبات رشد کریستال و کیفیت فیلم تأثیر بگذارد. VETEK از مواد گرافیت خالص شده با سطوح ناخالصی کنترل شده برای این کاربرد استفاده می کند.

2. پوشش پیشرفته CVD SiC & TaC

اکثر اجزای Halfmoon با CVD SiC پوشش داده شده اند تا حفاظت از سطح را در شرایط فرآیند با دمای بالا بهبود بخشند. برای محیط های سخت تر، پوشش TaC نیز موجود است. مزایای معمول سازه های پوشش داده شده عبارتند از:

• مقاومت بهتر در برابر گازهای فرآیند خورنده
• تولید ذرات پایین تر
• بهبود دوام سطح
• پایداری بهتر در طول چرخه حرارتی

در استفاده عملی، انتخاب پوشش معمولاً به دمای راکتور، شیمی فرآیند و طول عمر مورد انتظار بستگی دارد.

3. پایداری حرارتی عالی

نیمه هادی VETEK که برای محیط های پردازش نیمه هادی با دمای بالا طراحی شده است، ثبات ابعادی و یکپارچگی ساختاری را در طول چرخه های همپایی طولانی مدت حفظ می کند و آن را برای تجهیزات LPE و MOCVD بسیار مناسب می کند.

4. ماشینکاری CNC دقیق

VETEK دارای قابلیت های پیشرفته ماشینکاری CNC با کنترل ابعادی در سطح میکرون است که از سازگاری عالی با ساختارهای پیچیده راکتور LPE و الزامات تجهیزات سفارشی شده اطمینان حاصل می کند.

5. عمر طولانی

از طریق فناوری چسبندگی پوشش بهینه و پردازش مواد با خلوص بالا، اجزای VETEK Halfmoon دوام بسیار خوبی را در زیر چرخه حرارتی مکرر و گازهای فرآیند خورنده نشان می‌دهند و فرکانس نگهداری و هزینه‌های عملیاتی کل را کاهش می‌دهند.

مزیت های فنی

برنامه های کاربردی

نیمه ماه VETEK برای اتاق واکنش LPE به طور گسترده در موارد زیر استفاده می شود:

• سیستم های اپیتاکسی کاربید سیلیکون (SiC).
• راکتورهای افقی LPE
• تجهیزات رشد اپیتاکسیال نیمه هادی
• محفظه های فرآیند CVD با دمای بالا
• سیستم های میدان حرارتی نیمه هادی پیشرفته
• سیستم های رشد کریستال SiC
• تولید نیمه هادی نسل سوم

محصولات ما با چندین پلتفرم تجهیزات اصلی صنعت سازگار هستند و می توانند مطابق نقشه های مشتری یا مشخصات راکتور سفارشی شوند.

چرا نیمه هادی VETEK را انتخاب کنیم؟

VETEK Semiconductor سالهاست که بر روی اجزای گرافیت نیمه هادی و فناوری های پوشش تمرکز کرده است. از سال 2016، این شرکت به توسعه قابلیت های خود در پردازش تصفیه، ماشینکاری گرافیت دقیق و تولید پوشش CVD برای کاربردهای نیمه هادی ادامه داده است.

قابلیت های VETEK:

• تجربه با اجزای اپیتاکسی SiC و قطعات راکتور
• تولید داخلی CVD SiC و پوشش TaC
• کنترل تصفیه مواد در سطح نیمه هادی
• ساخت سفارشی بر اساس نقشه ها یا نمونه ها
• ظرفیت تولید پایدار برای سفارشات دسته ای
• تامین مواد گرافیتی نمد و میدان حرارتی
• سیستم مدیریت کیفیت ISO9001
• پشتیبانی فنی برای مشتریان خارج از کشور

سوالات متداول

(1) عملکرد نیمه ماه در یک راکتور LPE چیست؟

جزء Halfmoon از هدایت جریان گاز، یکپارچه سازی ساختار محفظه، مدیریت دما و چرخش گیرنده در داخل محفظه واکنش همپایی پشتیبانی می کند.

(2) آیا نیمه ماه در تماس مستقیم با ویفر است؟

به طور معمول خیر. در اکثر ساختارهای راکتور LPE، Halfmoon به جای تماس مستقیم با ویفر، در اطراف مجموعه محفظه می ماند.

(3) چرا از پوشش SiC یا TaC روی سطح استفاده می شود؟

پوشش عمدتا برای محافظت است. در طول اپیتاکسی SiC، قطعات گرافیت برای مدت طولانی در معرض دمای بالا و گازهای واکنش پذیر قرار می گیرند. پوشش به بهبود مقاومت در برابر اکسیداسیون کمک می کند و سایش سطح و تولید ذرات را کاهش می دهد.

(4) آیا می توان قطعه را سفارشی کرد؟

بله. اکثر قطعات Halfmoon در واقع بر اساس ساختار راکتور و نقشه های مشتری ساخته می شوند، زیرا ابعاد و جزئیات نصب اغلب بین پلت فرم های تجهیزات متفاوت است.