دارنده اپی ویفر

نیمه هادی Vetek از خدمات محصول سفارشی پشتیبانی می کند ، بنابراین دارنده Epi Wafer می تواند خدمات محصول سفارشی را بر اساس اندازه آن ارائه دهدویفر(100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر ، 300 میلی متر و غیره). ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

عملکرد و اصل کار دارندگان ویفر اپی

در حوزه تولید نیمه هادی ، فرآیند Epitaxy برای ساخت دستگاه های نیمه هادی با کارایی بالا بسیار مهم است. در قلب این فرآیند دارنده Epi Wafer قرار دارد که نقش مهمی در تضمین کیفیت و کارآیی داردرشد.

دارنده ویفر EPI در درجه اول برای ایمن نگه داشتن ویفر در طی فرآیند اپیتاکس طراحی شده است. وظیفه اصلی آن حفظ ویفر در یک محیط دقیقاً کنترل شده دما و جریان گاز است. این کنترل دقیق اجازه می دهد تا مواد اپیتاکسیال به طور مساوی بر روی سطح ویفر قرار بگیرند ، یک گام مهم در ایجاد لایه های نیمه هادی یکنواخت و با کیفیت بالا.

در شرایط درجه حرارت بالا که نمونه ای از فرآیند اپیتاکس است ، دارنده ویفر EPI در عملکرد خود برتری دارد. این محکم ویفر را در محفظه واکنش برطرف می کند در حالی که به طرز فجیعی از هرگونه آسیب احتمالی مانند خراش جلوگیری می کند و از آلودگی ذرات در سطح ویفر جلوگیری می کند.

خصوصیات مواد:چراکاربید سیلیکون (SIC)می درخشد

دارندگان ویفر Epi اغلب از کاربید سیلیکون (SIC) ساخته می شوند ، ماده ای که ترکیبی منحصر به فرد از خواص مفید را ارائه می دهد. SIC ضریب انبساط حرارتی کم تقریباً 4.0 10 10 10 درجه در درجه سانتیگراد دارد. این ویژگی در حفظ پایداری بعدی نگهدارنده در درجه حرارت بالا محوری است. با به حداقل رساندن انبساط حرارتی ، به طور موثری از استرس در ویفر جلوگیری می کند که در غیر این صورت می تواند ناشی از تغییرات اندازه مرتبط با دما باشد.

علاوه بر این ، SIC دارای ثبات عالی درجه حرارت بالا است. این یکپارچه می تواند در برابر دمای بالا از 1200 درجه سانتیگراد تا 1600 درجه سانتیگراد مورد نیاز در فرآیند اپیتاکس مقاومت کند. همراه با مقاومت در برابر خوردگی استثنایی آن و هدایت حرارتی تحسین برانگیز (معمولاً بین 120 تا 160 W/mk) ، SIC به عنوان انتخاب بهینه برای دارندگان ویفر اپی کلیسا ظاهر می شود.

توابع کلیدی در فرآیند epitaxial

اهمیت دارنده ویفر Epi در فرآیند اپیتاکسیال قابل تحمل نیست. این دستگاه به عنوان یک حامل پایدار در محیط های گاز با درجه حرارت بالا و خورنده عمل می کند ، و اطمینان می دهد که ویفر در طول رشد اپیتاکسیال بی تأثیر باقی می ماند و تقویت یکنواخت لایه اپیتاکسیال است.

1. تثبیت و تراز دقیقیک نگهدارنده با دقت بالا Epi Wafer ، محکم ویفر را در مرکز هندسی محفظه واکنش قرار می دهد. این قرارگیری تضمین می کند که سطح ویفر با جریان گاز واکنش ، زاویه تماس ایده آل را تشکیل می دهد. تراز دقیق نه تنها برای دستیابی به رسوب لایه ای اپیتاکسیال یکنواخت ضروری است بلکه باعث کاهش قابل توجهی غلظت استرس ناشی از انحراف موقعیت ویفر می شود.

2. کنترل گرمایش یکنواخت و کنترل میدان حرارتیبا استفاده از هدایت حرارتی عالی از مواد SIC ، دارنده ویفر Epi امکان انتقال حرارت کارآمد به ویفر را در محیط های اپیتاکسیال درجه حرارت بالا امکان پذیر می کند. به طور همزمان ، کنترل خوبی بر توزیع دما سیستم گرمایشی انجام می دهد. این مکانیسم دوگانه ، دمای مداوم را در کل سطح ویفر تضمین می کند ، به طور موثری استرس حرارتی ناشی از شیب بیش از حد دما را از بین می برد. در نتیجه ، احتمال نقص مانند ویفر و ترک ها به طور قابل توجهی به حداقل می رسد.

3. کنترل آلودگی به ذرات و خلوص مواداستفاده از بسترهای SIC با خلوص بالا و مواد گرافیتی با پوشش CVD یک بازی - تعویض کننده در کنترل آلودگی ذرات است. این مواد به طور قابل ملاحظه ای تولید و انتشار ذرات را در طی فرآیند اپیتاکس محدود می کنند و یک محیط بکر برای رشد لایه اپیتاکسیال فراهم می کنند. آنها با کاهش نقص رابط ، کیفیت و قابلیت اطمینان لایه اپیتاکسیال را افزایش می دهند.

4. مقاومت در برابر CORROSIONدر طولماترییا فرآیندهای LPCVD ، دارنده ویفر EPI باید گازهای خورنده مانند آمونیاک و گالیم تری متیل را تحمل کند. مقاومت در برابر خوردگی برجسته مواد SIC ، دارنده را قادر می سازد تا عمر خدمات گسترده ای داشته باشد و از این طریق قابلیت اطمینان کل فرآیند تولید را تضمین می کند.

خدمات سفارشی توسط نیمه هادی Vetek

نیمه هادی Vetek متعهد است که نیازهای متنوع مشتری را برآورده کند. ما خدمات نگهدارنده Wafer Epi را متناسب با اندازه های مختلف ویفر از جمله 100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر ، 300 میلی متر و فراتر از آن ارائه می دهیم. تیم متخصصان ما به ارائه محصولات با کیفیت بالا که دقیقاً با نیازهای شما مطابقت دارند اختصاص داده شده است. ما صمیمانه مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم و راه حل های نیمه هادی برتر را در اختیار شما قرار می دهیم.

داده های SEM ساختار کریستالی فیلم CVD SIC:

خصوصیات فیزیکی اساسی پوشش CVD SIC：

مقایسه فروشگاه های تولید کننده نیمه هادی EPI Wafer: