حلقه پوشش CVD SIC

قسمتهای کوچک زیادی در قسمتهای نیمه ماه وجود دارد ، و حلقه پوشش SIC یکی از آنهاست. با استفاده از یک لایه ازپوشش CVD SiCدر سطح حلقه گرافیت با خلوص بالا به روش CVD ، می توانیم حلقه پوشش CVD SIC را بدست آوریم. حلقه پوشش SIC با پوشش SIC دارای خواص عالی مانند مقاومت در برابر دمای بالا ، خصوصیات مکانیکی عالی ، پایداری شیمیایی ، هدایت حرارتی خوب ، عایق الکتریکی خوب و مقاومت اکسیداسیون عالی است. حلقه پوشش SIC CVD و پوشش SICمتصدیبا هم کار کنند

حلقه پوشش SiC و همکاریمتصدی

عملکرد حلقه پوشش CVD SiC:

  ●   توزیع جریان: طراحی هندسی حلقه پوشش SiC به تشکیل یک میدان جریان گاز یکنواخت کمک می کند، به طوری که گاز واکنش می تواند به طور یکنواخت سطح زیرلایه را بپوشاند و رشد همپایه یکنواخت را تضمین کند.

  ●  تبادل گرما و یکنواختی دما: حلقه پوشش CVD SIC عملکرد خوب تبادل گرما را فراهم می کند ، در نتیجه دمای یکنواخت حلقه پوشش CVD SIC و بستر را حفظ می کند. این می تواند از نقص کریستالی ناشی از نوسانات دما جلوگیری شود.

  ●  مسدود کننده رابط: حلقه پوشش CVD SIC می تواند انتشار واکنش دهنده ها را تا حدی محدود کند ، به طوری که آنها در یک منطقه خاص واکنش نشان می دهند و از این طریق رشد کریستال های SIC با کیفیت بالا را ارتقا می بخشند.

  ●  عملکرد پشتیبانی: حلقه پوشش CVD SIC با دیسک زیر ترکیب شده است تا یک ساختار پایدار برای جلوگیری از تغییر شکل در محیط بالا و محیط واکنش ایجاد شود و پایداری کلی محفظه واکنش را حفظ کند.

VeTek Semiconductor همیشه متعهد به ارائه حلقه‌های پوششی CVD SiC با کیفیت بالا و کمک به مشتریان در تکمیل راه‌حل‌ها با رقابتی‌ترین قیمت‌ها است. مهم نیست که به چه نوع حلقه پوششی CVD SiC نیاز دارید، لطفاً با VeTek Semiconductor مشورت کنید.

داده های SEM ساختار کریستالی فیلم CVD sic

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC: